000 00430nam a2200157Ia 4500
008 230702s9999 xx 000 0 und d
020 _a9780123751768
_bhbk
082 _a620.11
_bWIE
100 _aWiederrecht, Gary
245 0 _aHandbook of Nanofabrication /
_cWiederrecht, Gary
250 _a1st edition
260 _aChennai :
_bAcademic press ,
_c2010
300 _a310 pages
650 _aPhysics & Astronomy
942 _cENG
999 _c40073
_d40073